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非接觸式測量工具顯微鏡
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產品型號:HISOMET係列
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非接觸式測量工具顯微鏡

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HISOMET係列工具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量顯微鏡,X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm,放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度,Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器”,結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌,可測範圍25 mm,精度高達1μm,配合特殊附件,測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。

非接觸式測量顯微鏡

對焦清楚後如下圖:

應用實例:

技術規格:

型       號 DH II
工作台行程mm 50×50 100×100 100×200 150×150 150×300 300×300 500×500
Z軸測量範圍 25mm 25mm 25mm 25mm 25mm 25mm 25mm
X、Y、Z軸數顯分解度 0.001mm
Z軸讀數裝置 內置數顯表/外置數據處理係統
反射照明係統 內置LED/外置冷光源
標準目鏡 NWF10X
標準物鏡(W.D.12mm) PLM10X
讀數係統 簡易座標讀數器
 多功能數據處理器
測量軟件電腦係統
選購物鏡 PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
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